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外延产品

规 格 产品型号 样品图片
D-HEMT/650V/Si-150mm-1000μm 150 mm D-HEMT on Si
E-HEMT/650V/Si-150mm-1000μm 150 mm E-HEMT on Si
D-HEMT/200V/Si-150mm-1000μm 150 mm D-HEMT on Si
E-HEMT/200V/Si-150mm-1000μm 150 mm E-HEMT on Si
RF-HEMT/200V/Si-150mm-1000μm 150 mm rf-HEMT on Si
D-HEMT/650V/Si-200mm-975μm 200 mm D-HEMT on Si
E-HEMT/650V/Si-200mm-975μm 200 mm E-HEMT on Si
D-HEMT/200V/Si-200mm-725μm 200 mm D-HEMT on Si
E-HEMT/200V/Si-200mm-725μm 200 mm E-HEMT on Si
RF-HEMT/200V/SiC-50mm-360μm 50 mm rf-HEMT on SiC
RF-HEMT/200V/SiC-100mm-500μm 100 mm rf-HEMT on SiC
RF-HEMT/200V/SiC-150mm-500μm 150 mm rf-HEMT on SiC
D-HEMT/Sapphire-50mm-430μm D-HEMT on sapphire
D-HEMT/Sapphire-100mm-650μm D-HEMT on sapphire
D-HEMT/Sapphire-150mm-1000μm D-HEMT on sapphire
E-HEMT/Sapphire-50mm-430μm E-HEMT on sapphire
E-HEMT/Sapphire-100mm-650μm E-HEMT on sapphire
E-HEMT/Sapphire-150mm-1000μm E-HEMT on sapphire
SBD/650V/sapphire-50mm-430μm SBD on sapphire
SBD/650V/sapphire-100mm-650μm SBD on sapphire
SBD/650V/sapphire-150mm-1200μm SBD on sapphire

功率器件

产品型号 耐 压 导通电阻 阈值电压 类型 封装形式 封装图
CE65E300DNYI 650V 300mΩ 2.5V 增强型 单管 DFN 5*6
CE65E160DNHI 650V 160mΩ 2.5V 增强型 单管 DFN 8*8
CE65E160DNYI 650V 160mΩ 2.5V 增强型 单管 DFN 5*6
CE65H110TOAI 650V 110mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO220
CE65H110DNDI 650V 110mΩ 3.9V 耗尽型 级联 DFN8*8
CE65H160TOAIF 650V 160mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO220F
CE65H160DNGI 650V 160mΩ 1.7V 耗尽型 级联 DFN 8*8
CE65H270TOBI 650V 270mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO252
CE65H270TOEI 650V 270mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO252
CE65H270DNGI 650V 270mΩ 1.7V 耗尽型 级联 DFN 8*8
CE65H270TOAIF 650V 270mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO220F
CE65H600TOEI 650V 600mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO252
CE65H600TOAIF 650V 600mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO220F
CE65H900TOEI 650V 900mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO252
CE65H160DNCI 650V 160mΩ 3.9V 耗尽型 级联 DFN5*6
CE65H270DNCI 650V 270mΩ 3.9V 耗尽型 级联 DFN5*6
CE65H600DNCI 650V 600mΩ 3.9V 耗尽型 级联 DFN5*6
CE65H900DNCI 650V 900mΩ 3.9V 耗尽型 级联 DFN5*6
CE65H080TOCI 650V 80mΩ 3.9V 耗尽型 级联 TO247-3

代加工平台

产品类别

加工工序

01光刻(50mm-200mm)

02金属溅射(Ti、Al、TiN、Cu等)
金属蒸发(Ti、Al、Ni、Pt、Mo、Ta、Ag、Co、Cr等)

03干法刻蚀GaN、Si、SiC、SiO2、Si3N4、AL、TiN、Ni、Cr、Pt等

04湿法刻蚀及清洗

05薄膜PECVD沉积SiO2、Si3N4、ALD沉积Al2O3、AlN和Si3N4等

06离子注入N、BF2、Ar

07TSV工艺

08磨片、划片

09晶圆、器件测试

10激光开槽

11烤盘清洗

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